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대한민국, 서울시, 서울시 강남구 삼성동 168-12 CANON BS Tower 9층
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캐논쎄미콘덕터엔지니어링코리아㈜
CANON SEMICONDUCTOR ENGINEERING KOREA INC.(통칭 CSEK)는, 1993년 5월 설립이래 한국의 고객에게, 한국인의 손으로 친밀하게 다가가 보다 좋은 서포트를 제공하는 것을 최고의 가치관으로 사업을 펼쳐왔습니다.
지금은 캐논이 제조하는 반도체 및 액정노광 장치의 서비스 서포트뿐만 아니라, 캐논 그룹의 제품인 Die Bonder, 계측기기도 취급하고 있으며, 한국의 산업을 지탱하고 있는 고객의 다양한 needs에 응하고 있습니다.
캐논 그룹은 「공생」의 기업이념의 근본, 전 세계의 고객에게 친근하며 신뢰 받는 진정한 “Global Excellent Company”를 지향하고 있습니다.
한국에서의 CSEK는 여러분의 회사가 세계를 향해 발전해가는 활동을 확실히 서포트 해 가겠습니다.
여러분의 관심과 성원을 부탁드리는 바입니다.
사용 가능
주요한 특징
●
4세대 기판사이즈 대응
●
32형 와이드까지의 일괄노출이 가능
●
High Throughput
※ 발매일: 2001년 1월
※ 2000년 6월 16일 현재
※ 구성에 의해 다르다
그룹: 전자 기술 장비
사용 가능
5.5세대 시장진입
제6세대 기판size 1500mm×1850mm에 대응한 노광장치
주요한 특징
●
제6세대 기판size 1500mm×1850mm에 대응
●
47형wide까지의 일괄노광 가능
그룹: 전자 기술 장비
사용 가능
8세대 장비 2.5um / 대화면 대응
제6세대 기판size 1500mm×1850mm에 대응한 노광장치
주요한 특징
●
제8세대 기판size 2200mm×2500mm 에 대응
●
57형wide까지 일괄노광 가능
●
2종류의 mask를 자동 선택하는 기능에 의한 mask cost삭감
그룹: 전자 기술 장비
사용 가능
Non Critical Device양산Model
I line Stepper
주요한 특징
Non-Critical Device양산 Model I line Stepper "FPA-3000i5+"
●
4inch(Option)~8inch의 폭 넓은 Wafer Inch Size대응
●
5inch ~ 6inch Reticle Inch Size대응
●
Long Seller FPA-3000 Flatform에 따른 높은 신뢰성
●
High...
그룹: 3 차원 레이저 스캐너
사용 가능
카라 필터 기판노광 장치"캐논 MPA-6000CF"
주요한 특징
●
폭넓은 해상력성능
●
High Overlay
●
High throughput
●
Mix and match
● 캐논 MPA-6000CF‥‥‥‥‥‥가격(세별) 7.5억엔
※(발매일: 2002년 제 14분기)
※ 구성에 의해 다르다
그룹: 전자 기술 장비
사용 가능
제 5세대 기반 size 1,200mm× 1,300mm의 전면노광을 실현해, 최대 32인치형까지의 대형 액정 display의 양산에 대응한 액정기판노광 장치.
주요한 특징
●
제 5세대 기반 size 1,200mm×1,300mm에 대응
●
32형 wide까지의 일괄노광이 가능
●
High Throughput 실현
●
High Overlay정도를 실현
●
Slit폭의 선택에 의해, 폭넓은 해상력성능을 실현.
그룹: 전자 기술 장비
사용 가능
전기분할 Hybrid IC 채용에 의해 분해능 0.01μm 달성
ML-08/80의 제품 특징
●
LED의 회절간섭방식에 의해, Sub-Micron의 고분해능을 실현
●
Hybrid IC 개수에 의해 40, 20분할로 변환가능
●
Scale에 석영Glass를 채용하여, 고분해능을 실현
전기적 사양 (중계Unit에서의 출력 신호)
A상B상신호
구형파 출력
1 주기의 길이
0.8μm
구형파...
그룹: 리니어 센서
사용 가능
881,000Pulse의 고분해능 Open Collector 출력
R-10의 제품 특징
●
직경36mm, 중량80g의 compact size
●
81,000pulse/1회전, 16초/pulse(전기분할 미포함)의 고분해능
●
Open collector 출력
전기적 사양
본체pulse/회전
81,000pulse (전기분할 미포함)
분해능/pulse
16arc-sec(전기분할 미포함)
출력
...
그룹: 토크 센서
사용 가능
1,200mm× 1,300mm 기판 사이즈의 전면노광을 실현하여, 최대 32인치형까지의 대형 액정 디스플레이의 양산에 대응한 color filter기판노광 장치.
주요한 특징
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1,200mm×1,300mm 기판 사이즈에 대응
●
32형 와이드까지의 일괄노광이 가능
●
High Throughput을 실현
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High Overlay 정도를 실현
●
Slit폭의 선택에 의해, 폭넓은 해상력성능을 실현.
그룹: 전자 기술 장비
사용 가능
캐논은, 광원에 KrF(플루오르화 크립톤) 엑시머 레이져(excimer laser)※1을 채용한
반도체 노광 장치 "FPA-6300 ES6a"를 4월 5일부터 발매합니다.
주요한 특징
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1시간당 200매 이상의 높은 생산성
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업계 최고 수준의 중첩 정도5nm를 실현
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내구성·멘테넌스성의 한층 더 향상
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차세대 반도체 제조를 향한 확장성과 풍부한 옵션
PC, 스마트 폰(고기능 휴대 전화) 등 다양한 전자기기의 수요 확대에.
그룹: 3 차원 레이저 스캐너